Silicid Twngsten
Silicid Twngsten
Defnyddir silicid twngsten WSi2 fel deunydd sioc drydanol mewn microelectroneg, siyntio ar wifrau polysilicon, cotio gwrth-ocsidiad a gorchudd gwifren gwrthiant.Defnyddir silicid twngsten fel deunydd cyswllt mewn microelectroneg, gyda gwrthedd o 60-80μΩcm.Mae'n cael ei ffurfio ar 1000 ° C.Fe'i defnyddir fel siynt fel arfer ar gyfer llinellau polysilicon i gynyddu ei ddargludedd a chynyddu cyflymder signal.Gellir paratoi'r haen Silicid twngsten trwy ddyddodiad anwedd cemegol, megis dyddodiad anwedd.Defnyddiwch hecsaflworid monosilane neu dichlorosilane a thwngsten fel nwy deunydd crai.Mae'r ffilm a adneuwyd yn anstoichiometrig ac mae angen trawsnewid anelio i ffurf stoichiometrig fwy dargludol.
Gall silicid twngsten ddisodli'r ffilm twngsten cynharach.Defnyddir silicid twngsten hefyd fel haen rhwystr rhwng silicon a metelau eraill.
Mae silicid twngsten hefyd yn werthfawr iawn mewn systemau microelectromecanyddol, ymhlith y mae silicid twngsten yn cael ei ddefnyddio'n bennaf fel ffilm denau ar gyfer gweithgynhyrchu microcircuits.At y diben hwn, gellir ysgythru'r ffilm silicid twngsten mewn plasma gan ddefnyddio, er enghraifft, silicid.
EITEM | Cyfansoddiad cemegol | |||||
Elfen | W | C | P | Fe | S | Si |
Cynnwys(wt%) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | Cydbwysedd |
Mae Rich Special Materials yn arbenigo mewn Gweithgynhyrchu Sputtering Target a gallai gynhyrchu Deunyddiau Sputtering Silicide Twngsten yn unol â manylebau Cwsmeriaid.Am fwy o wybodaeth, cysylltwch â ni.