Bydd ymgynghorydd technegol RSM yn rhannu gyda chi fanteision targedau sputtering magnetron silindrog a planar?O'i gymharu â thargedau sputtering magnetron eraill, mae targedau sputtering magnetron silindrog a planar yn cadw manteision unffurfiaeth cotio da o dargedau planar hirsgwar, a gallant wneud y mwyaf o'r defnydd o dargedau trwy'r ddwy ffordd ganlynol:
(1) Pan fydd y ddau grŵp (pedwar) o byllau annular ar wyneb y targed yn cyrraedd dyfnder penodol, gellir cylchdroi'r craidd targed (rhan magnet) 45 ° o'i gymharu â'r tiwb targed, fel bod ardaloedd eraill ar y tiwb targed gellir defnyddio sydd heb eu cyrydu;
(2) Pan fydd craidd targed y targed sputtering magnetron silindrog a planar wedi'i ddylunio fel craidd targed cylchdroi (mae'r craidd targed yn cylchdroi yn ystod sputtering), gellir sputtered wyneb y targed yn gyfartal oddi ar haen fesul haen heb byllau.Ar yr adeg hon, bydd y targed yn cael ei ddefnyddio'n fwyaf effeithiol, a gall cyfradd defnyddio'r targed gyrraedd 50% ~ 60% Pan fydd y deunydd targed yn fetel gwerthfawr, mae hyn yn amlwg o arwyddocâd mawr.
Trwy ddefnyddio'r egwyddor o magnet gydag esgid polyn yn darged sputtering magnetron silindrog cyfechelog i ddatrys y broblem o faes magnetig diwedd, gellir trawsnewid y targed awyren hirsgwar yn darged sputtering magnetron silindrog a planar, Gall y targed wneud y mwyaf o gyfradd defnyddio'r targed tra'n cadw unffurfiaeth cotio da y targed awyren hirsgwar Er mwyn gwella manteision economaidd.
Amser post: Gorff-04-2022