Mae craciau mewn targedau sputtering fel arfer yn digwydd mewn targedau sputtering ceramig megis ocsidau, carbidau, nitridau, a deunyddiau brau fel cromiwm, antimoni, bismuth.Nawr gadewch i arbenigwyr technegol RSM esbonio pam mae'r crac targed sputtering a pha fesurau ataliol y gellir eu cymryd i osgoi'r sefyllfa hon.
Mae targedau deunydd ceramig neu frau bob amser yn cynnwys straen cynhenid.Cynhyrchir y pwysau mewnol hyn yn y broses weithgynhyrchu darged.Yn ogystal, nid yw'r straen hwn yn cael ei ddileu'n llwyr gan y broses anelio, oherwydd eu bod yn nodweddion cynhenid y deunyddiau hyn.Yn y broses sputtering, mae peledu ïonau nwy yn trosglwyddo eu momentwm i'r atomau targed, gan roi digon o egni iddynt eu gwahanu oddi wrth y dellt.Mae'r trosglwyddiad momentwm ecsothermig hwn yn gwneud y cynnydd tymheredd targed, a all gyrraedd 1000000 ℃ ar y lefel atomig.
Mae'r siociau thermol hyn yn cynyddu'r straen mewnol presennol yn y targed i lawer gwaith.Yn yr achos hwn, os na chaiff y gwres ei wasgaru'n iawn, gall y targed dorri.Er mwyn atal y targed rhag cracio, dylid pwysleisio afradu gwres.Mae angen mecanwaith oeri dŵr i gael gwared ar ynni gwres diangen o'r targed.Mater arall i'w ystyried yw'r cynnydd mewn pŵer.Bydd gormod o bŵer yn cael ei gymhwyso mewn amser byr hefyd yn achosi sioc thermol i'r targed.Yn ogystal, rydym yn awgrymu rhwymo'r targedau hyn i'r backplane, a all nid yn unig ddarparu cefnogaeth i'r targed, ond hefyd hyrwyddo gwell cyfnewid gwres rhwng y targed a dŵr.Os oes gan y targed graciau ond ei fod wedi'i fondio â'r plât cefn, gellir ei ddefnyddio o hyd.
Gall Rich Special Materials Co, Ltd ddarparu targedau sputtering gyda backplane.Gellir ei addasu yn unol â gofynion y cwsmeriaid o ran deunydd, trwch a math o fondio.
Amser post: Medi-21-2022