1. Magnetron sputtering dull:
Gellir rhannu sputtering Magnetron yn sputtering DC, sputtering amledd canolig a sputtering RF
A. cyflenwad pŵer sputtering DC yn rhad ac mae dwysedd y ffilm a adneuwyd yn wael.Yn gyffredinol, defnyddir batris ffotothermol domestig a ffilm denau gydag ynni isel, a'r targed sputtering yw targed metel dargludol.
B. Mae'r egni sputtering RF yn uchel, a gall y targed sputtering fod yn darged nad yw'n dargludol neu'n darged dargludol.
C. Gall targed sputtering amledd canolig fod yn darged ceramig neu darged metel.
2. Dosbarthu a chymhwyso targedau sputtering
Mae yna lawer o fathau o dargedau sputtering, ac mae'r dulliau dosbarthu targed hefyd yn wahanol.Yn ôl y siâp, fe'u rhennir yn darged hir, targed sgwâr a tharged crwn;Yn ôl y cyfansoddiad, gellir ei rannu'n darged metel, targed aloi a tharged cyfansawdd ceramig;Yn ôl gwahanol feysydd cais, gellir ei rannu'n dargedau cerameg cysylltiedig â lled-ddargludyddion, cofnodi targedau ceramig canolig, arddangos targedau ceramig, ac ati Defnyddir targedau sputtering yn bennaf mewn diwydiannau electronig a gwybodaeth, megis diwydiant storio gwybodaeth.Yn y diwydiant hwn, defnyddir targedau sputtering i baratoi cynhyrchion ffilm tenau perthnasol (disg galed, pen magnetig, disg optegol, ac ati).Ar hyn o bryd.Gyda datblygiad parhaus diwydiant gwybodaeth, mae'r galw am gofnodi targedau ceramig canolig yn y farchnad yn cynyddu.Mae ymchwilio a chynhyrchu targedau cyfrwng cofnodi wedi dod yn ffocws sylw helaeth.
Amser postio: Mai-11-2022