Gofynion perfformiad ar gyfer deunyddiau targed yn y diwydiant storio optegol

Mae angen purdeb uchel ar y deunydd targed a ddefnyddir yn y diwydiant storio data, a rhaid lleihau amhureddau a mandyllau i osgoi cynhyrchu gronynnau amhuredd yn ystod sputtering.Mae'r deunydd targed a ddefnyddir ar gyfer cynhyrchion o ansawdd uchel yn ei gwneud yn ofynnol i'w maint gronynnau grisial fod yn fach ac yn unffurf, heb unrhyw gyfeiriadedd grisial.Isod, gadewch i ni edrych ar ofynion y diwydiant storio optegol ar gyfer y deunydd targed?

1. purdeb

Mewn cymwysiadau ymarferol, mae purdeb deunyddiau targed yn amrywio yn ôl gwahanol ddiwydiannau a gofynion.Fodd bynnag, yn gyffredinol, po uchaf yw purdeb y deunydd targed, y gorau yw perfformiad y ffilm sputtered.Er enghraifft, yn y diwydiant storio optegol, mae'n ofynnol i burdeb y deunydd targed fod yn fwy na 3N5 neu 4N

2. cynnwys amhuredd

Mae'r deunydd targed yn gweithredu fel y ffynhonnell catod mewn sputtering, ac amhureddau yn y solid ac ocsigen ac anwedd dŵr yn y mandyllau yw'r prif ffynonellau llygredd ar gyfer dyddodi ffilmiau tenau.Yn ogystal, mae yna ofynion arbennig ar gyfer targedau o wahanol ddefnyddiau.Gan gymryd y diwydiant storio optegol fel enghraifft, rhaid rheoli'r cynnwys amhuredd mewn targedau sputtering yn isel iawn i sicrhau ansawdd y cotio.

3. Maint grawn a dosbarthiad maint

Fel arfer, mae gan y deunydd targed strwythur polycrystalline, gyda meintiau grawn yn amrywio o ficromedrau i filimetrau.Ar gyfer targedau gyda'r un cyfansoddiad, mae cyfradd sputtering targedau grawn mân yn gyflymach na thargedau grawn bras.Ar gyfer targedau gyda gwahaniaethau maint grawn llai, bydd y trwch ffilm a adneuwyd hefyd yn fwy unffurf.

4. Compactness

Er mwyn lleihau mandylledd yn y deunydd targed solet a gwella perfformiad ffilm, mae'n ofynnol yn gyffredinol bod gan y deunydd targed sputtering ddwysedd uchel.Mae dwysedd y deunydd targed yn bennaf yn dibynnu ar y broses baratoi.Gall y deunydd targed a weithgynhyrchir trwy ddull toddi a chastio sicrhau nad oes mandyllau y tu mewn i'r deunydd targed ac mae'r dwysedd yn uchel iawn.