Defnyddir deunyddiau targed Niobium yn bennaf mewn cotio optegol, cotio deunydd peirianneg wyneb, a diwydiannau cotio megis ymwrthedd gwres, ymwrthedd cyrydiad, a dargludedd uchel.Ym maes cotio optegol, fe'i cymhwysir yn bennaf mewn cynhyrchion optegol offthalmig, lensys, opteg fanwl, cotio ardal fawr, cotio 3D, ac agweddau eraill.
Fel arfer gelwir y deunydd targed niobium yn darged noeth.Mae'n cael ei weldio yn gyntaf i'r targed cefn copr, ac yna'n cael ei sputtered i adneuo atomau niobium ar ffurf ocsidau ar ddeunydd y swbstrad, gan gyflawni cotio sputtering.Gyda dyfnhau ac ehangu parhaus technoleg targed niobium a chymhwysiad, mae'r gofynion ar gyfer unffurfiaeth microstrwythur targed niobium wedi cynyddu, a amlygir yn bennaf mewn tair agwedd: mireinio maint grawn, dim cyfeiriadedd gwead amlwg, a phurdeb cemegol gwell.
Mae dosbarthiad unffurf microstrwythur a phriodweddau trwy gydol y targed yn hanfodol ar gyfer sicrhau perfformiad sbuttering deunyddiau targed niobium.Mae wyneb y targedau niobium a geir mewn cynhyrchu diwydiannol fel arfer yn arddangos patrymau rheolaidd, sy'n effeithio'n fawr ar berfformiad sputtering y targedau.Sut gallwn ni wella cyfradd defnyddio'r targedau?
Trwy ymchwil, darganfuwyd bod cynnwys amhuredd (purdeb targed) yn ffactor pwysig sy'n effeithio ar burdeb.Mae cyfansoddiad cemegol y deunyddiau crai yn anwastad, ac mae amhureddau'n cael eu cyfoethogi.Ar ôl prosesu treigl yn ddiweddarach, mae patrymau rheolaidd yn cael eu ffurfio ar wyneb y deunydd targed niobium;Gall dileu dosbarthiad anwastad o gydrannau deunydd crai a chyfoethogi amhuredd osgoi ffurfio patrymau rheolaidd ar wyneb targedau niobium.Gall dylanwad maint grawn a chyfansoddiad strwythurol ar y deunydd targed fod bron yn ddibwys.
Amser postio: Mehefin-19-2023