Mae'r defnydd eang o ddeunydd targed mewn amrywiol broffesiynau yn gwneud y galw am ddeunydd targed yn uwch ac yn uwch.Y canlynol Byddwn yn cyflwyno yn fyr ti beth yw gofynion swyddogaethol sylfaenol y targed, hoping i'ch helpu chi.
Purdeb: Purdeb yw un o brif ddangosyddion swyddogaethol y targed, oherwydd mae purdeb y targed yn cael effaith fawr ar swyddogaeth y ffilm.Ond yn ymarferol, nid yw purdeb y deunydd targed yr un peth.Er enghraifft, gyda thwf cyflym y proffesiwn microelectroneg, mae maint y wafer silicon wedi datblygu o 6 ", 8" i 12 ″, ac mae lled y gwifrau wedi gostwng o 0.5um i 0.25um, 0.18um a hyd yn oed 0.13um.Unwaith y gall 99.995% o'r purdeb targed fodloni gofynion technolegol 0.35UMIC.Mae paratoi llinell 0.18um yn gofyn am 99.999% neu hyd yn oed purdeb 99.9999% o ddeunydd targed.
Dwysedd: Er mwyn lleihau'r mandylledd yn y solet targed a gwella swyddogaeth y ffilm sputtering, fel arfer mae'n ofynnol i'r targed fod â dwysedd uchel.Mae'r dwysedd targed yn effeithio nid yn unig ar y gyfradd sputtering ond hefyd ar briodweddau trydanol ac optegol y ffilmiau.Po uchaf yw'r dwysedd targed, y gorau yw swyddogaeth y ffilm.Yn ogystal, cynyddwyd dwysedd a chryfder y deunydd targed i'w gwneud yn well gallu gwrthsefyll y straen thermol yn ystod sputtering.Mae dwysedd hefyd yn un o ddangosyddion swyddogaethol pwysig sylweddau targed.
Cynnwys amhuredd: amhureddau yn y targed solet ac ocsigen ac anwedd dŵr yn y mandyllau yw'r ffynonellau llygredd sylfaenol o'r deunyddiau targed cronedig films.Different at wahanol ddibenion wedi gofynion gwahanol ar gyfer cynnwys amhuredd gwahanol.Er enghraifft, mae gan dargedau aloi alwminiwm ac alwminiwm pur a ddefnyddir yn y diwydiant lled-ddargludyddion ofynion arbennig ar gyfer cynnwys metel alcali a chynnwys elfen ymbelydrol.
Amser postio: Mehefin-06-2022