1, paratoi sputtering
Mae'n bwysig iawn cadw'r siambr gwactod, yn enwedig y system sputtering yn lân.Bydd unrhyw weddillion a ffurfiwyd gan olew iro, llwch a gorchudd blaenorol yn casglu anwedd dŵr a llygryddion eraill, a fydd yn effeithio'n uniongyrchol ar y radd gwactod a chynyddu'r posibilrwydd o fethiant ffurfio ffilm.Mae cylched byr neu arcing targed, arwyneb ffilm garw a chynnwys amhuredd cemegol gormodol yn aml yn cael eu hachosi gan siambr sputtering aflan, gwn sputtering a tharged.Er mwyn cadw at nodweddion cyfansoddiad y cotio, mae angen glanhau a sychu'r nwy sputtering (argon neu ocsigen).Ar ôl i'r swbstrad gael ei osod yn y siambr sputtering, mae angen echdynnu'r aer i gyrraedd y gwactod sy'n ofynnol gan y broses.Mae angen cadw'r gorchudd cysgodi yn yr ardal dywyll, y wal geudod a'r arwyneb cyfagos yn lân hefyd.Wrth lanhau'r siambr wactod, rydym yn argymell defnyddio ffrwydro peli gwydr i drin y rhannau llychlyd, ynghyd ag aer cywasgedig i gael gwared ar y gweddillion sputtering cynnar o amgylch y siambr, ac yna sgleinio'r wyneb allanol yn dawel gyda phapur tywod wedi'i drwytho ag alwmina.Ar ôl caboli'r papur rhwyllen, caiff ei lanhau ag alcohol, aseton a dŵr deionized.Gyda'i gilydd, mae'n argymell defnyddio sugnwr llwch diwydiannol ar gyfer glanhau ategol.Mae'r targedau a gynhyrchir gan fetel Gaozhan wedi'u pacio mewn bagiau plastig wedi'u selio dan wactod,
Wedi'i adeiladu mewn asiant atal lleithder.Wrth ddefnyddio'r targed, peidiwch â chyffwrdd â'r targed yn uniongyrchol â'ch llaw.Sylwch: wrth ddefnyddio'r targed, gwisgwch fenig cynnal a chadw glân a di-lint.Peidiwch byth â chyffwrdd â'r targed yn uniongyrchol â'ch dwylo
2 、 Targed glanhau
Pwrpas glanhau targed yw cael gwared ar y llwch neu'r baw a all fodoli ar wyneb y targed.
Gellir glanhau'r targed metel mewn pedwar cam,
Y cam cyntaf yw glanhau gyda lliain meddal heb lint wedi'i socian mewn aseton;
Mae'r ail gam yn debyg i'r cam cyntaf, glanhau ag alcohol;
Cam 3: glanhau gyda dŵr deionized.Ar ôl golchi â dŵr deionized, rhowch y targed yn y ffwrn a'i sychu ar 100 ℃ am 30 munud.
Rhaid glanhau targedau ocsid a seramig â “lliain di-lint”.
Y pedwerydd cam yw golchi'r targed gydag argon gyda gwasgedd uchel a nwy dŵr isel ar ôl cael gwared ar yr ardal llychlyd, er mwyn cael gwared ar yr holl ronynnau amhuredd a all ffurfio arc yn y system sputtering.
3, dyfais targed
Yn y broses o osod targed, Z rhagofalon pwysig yw sicrhau cysylltiad dargludiad thermol da rhwng y targed a wal oeri y gwn sputtering.Os yw warpage yr erwydd oeri yn ddifrifol neu os yw warpage y plât cefn yn ddifrifol, bydd y ddyfais darged yn cracio neu'n plygu, a bydd y dargludedd thermol o'r targed cefn i'r targed yn cael ei effeithio'n fawr, gan arwain at fethiant afradu gwres yn y broses sputtering, a bydd y targed yn cracio neu'n methu
Er mwyn sicrhau'r dargludedd thermol, gellir padio haen o bapur graffit rhwng y wal oeri catod a'r targed.Rhowch sylw i wirio'n ofalus a gwneud yn glir gwastadrwydd wal oeri y gwn sputtering a ddefnyddir i sicrhau bod yr O-ring bob amser yn ei le.
Gan y bydd glendid y dŵr oeri a ddefnyddir a'r llwch a all ddigwydd yn ystod gweithrediad yr offer yn cael ei adneuo yn y tanc dŵr oeri catod, mae angen gwirio a glanhau'r tanc dŵr oeri catod wrth osod y targed i sicrhau'r llyfn. cylchrediad dŵr oeri ac na fydd y fewnfa a'r allfa yn cael eu rhwystro.
Mae rhai cathodau wedi'u cynllunio i gael gofod bach gyda'r anod, felly wrth osod y targed, mae'n ofynnol sicrhau nad oes cyffwrdd na dargludydd rhwng y catod a'r anod, fel arall bydd cylched byr yn digwydd.
Cyfeiriwch at Lawlyfr gweithredwr yr offer am wybodaeth ar sut i weithredu'r targed yn gywir.Os nad oes gwybodaeth o'r fath yn y llawlyfr defnyddiwr, ceisiwch osod y ddyfais yn unol â'r awgrymiadau perthnasol a ddarperir gan Gaozhan metal.Wrth dynhau'r gosodiad targed, tynhau un bollt â llaw yn gyntaf, ac yna tynhau bollt arall ar y groeslin â llaw.Ailadroddwch hyn nes bod yr holl bolltau ar y ddyfais wedi'u tynhau, ac yna'n tynhau gyda rhywbeth.
4 、 Cylched byr a arolygiad tyndra
Ar ôl cwblhau'r ddyfais darged, mae'n ofynnol gwirio cylched byr a thyndra'r catod cyfan,
Cynigir penderfynu a oes cylched byr yn y catod trwy ddefnyddio mesurydd gwrthiant
Gwahaniaethu rhes.Ar ôl cadarnhau nad oes cylched byr yn y catod, gellir canfod gollyngiadau, a gellir cyflwyno dŵr i'r catod i gadarnhau a oes dŵr yn gollwng.
5 、 Targedu cyn sputtering
Mae targed cyn sputtering yn hyrwyddo sputtering argon pur, a all lanhau wyneb y targed.Pan fydd y targed wedi'i chwistrellu ymlaen llaw, argymhellir cynyddu'r pŵer sputtering yn araf, a chyfradd cynyddu pŵer targed ceramig yw 1.5WH / cm2.Gall cyflymder cyn sputtering targed metel fod yn uwch na chyflymder targed bloc ceramig, a chyfradd cynnydd pŵer rhesymol yw 1.5WH / cm2.
Yn y broses o sputtering ymlaen llaw, mae angen inni wirio arcing y targed.Mae'r amser sbuttering cyn fel arfer tua 10 munud.Os nad oes unrhyw ffenomen arcing, cynyddwch y pŵer sputtering yn barhaus
I'r pŵer gosod.Yn ôl profiad, mae pŵer sputtering uchel Z derbyniol o darged metel yn
25watts / cm2, 10watts / cm2 ar gyfer targed ceramig.Cyfeiriwch at y sylfaen gosod a phrofiad o bwysau siambr gwactod yn ystod sputtering yn llawlyfr gweithredu system y defnyddiwr.Yn gyffredinol, dylid sicrhau y dylai tymheredd y dŵr yn yr allfa dŵr oeri fod yn is na 35 ℃, ond Z mae'n bwysig sicrhau bod y system gylchredeg dŵr oeri yn gallu gweithio'n effeithiol
Mae cylchrediad cyflym dŵr supercooling yn tynnu gwres i ffwrdd, sy'n warant bwysig i sicrhau sputtering parhaus gyda phwer uchel.Ar gyfer targedau metel, argymhellir yn gyffredinol bod y llif dŵr oeri
Mae pwysedd dŵr 20lpm tua 5gmp;Ar gyfer targedau cerameg, argymhellir yn gyffredinol bod llif y dŵr yn 30lpm ac mae'r pwysedd dŵr tua 9gmp
6 、 Cynnal a chadw targed
Er mwyn atal cylched byr a bwa a achosir gan geudod aflan yn y broses sputtering, mae angen cael gwared ar y sputter a gronnwyd yn y ganolfan a dwy ochr y trac sputtering fesul cam,
Mae hyn hefyd yn helpu defnyddwyr i sbutter yn barhaus ar ddwysedd pŵer uchel z
7 、 Storio targed
Mae'r targedau a ddarperir gan fetel Gaozhan yn cael eu pecynnu mewn bagiau plastig gwactod haen dwbl.Rydym yn argymell bod defnyddwyr yn cadw'r targedau, boed yn fetel neu'n seramig, mewn pecynnau gwactod.Yn benodol, mae angen storio'r targedau bondio o dan amodau gwactod i atal ocsidiad yr haen bondio rhag effeithio ar ansawdd y bondio.O ran pecynnu targedau metel, rydym yn argymell y dylai Z gael ei becynnu mewn bagiau plastig glân
Amser postio: Mai-13-2022