Mae gan y targed farchnad eang, maes cais a datblygiad mawr yn y dyfodol.Er mwyn eich helpu i gael gwell dealltwriaeth o'r swyddogaethau targed, yma isod bydd y peiriannydd RSM yn cyflwyno'n fyr brif ofynion swyddogaethol y targed.
Purdeb: purdeb yw un o brif ddangosyddion swyddogaethol y targed, oherwydd mae purdeb y targed yn cael effaith fawr ar swyddogaeth y ffilm.Fodd bynnag, wrth gymhwyso'n ymarferol, mae gofynion purdeb y targed hefyd yn wahanol.Er enghraifft, gyda datblygiad cyflym y diwydiant microelectroneg, mae maint y wafer silicon yn cael ei ehangu o 6 "i 8" i 12", ac mae lled y gwifrau yn cael ei leihau o 0.5um i 0.25um, 0.18um neu hyd yn oed 0.13um.Yn flaenorol, gall 99.995% o'r purdeb targed fodloni gofynion y broses o 0.35umig, tra bod paratoi llinellau 0.18um yn gofyn am 99.999% neu hyd yn oed 99.9999% o'r purdeb targed.
Cynnwys amhuredd: amhureddau mewn solidau targed ac ocsigen ac anwedd dŵr mewn mandyllau yw prif ffynonellau llygredd ffilmiau a adneuwyd.Mae gan dargedau at wahanol ddibenion wahanol ofynion ar gyfer gwahanol gynnwys amhuredd.Er enghraifft, mae gan dargedau aloi alwminiwm ac alwminiwm pur a ddefnyddir mewn diwydiant lled-ddargludyddion ofynion arbennig ar gyfer cynnwys metel alcali a chynnwys elfen ymbelydrol.
Dwysedd: er mwyn lleihau'r mandyllau yn y solet targed a gwella swyddogaeth ffilm sputtering, fel arfer mae'n ofynnol i'r targed fod â dwysedd uchel.Mae dwysedd y targed nid yn unig yn effeithio ar y gyfradd sputtering, ond hefyd yn effeithio ar swyddogaethau trydanol ac optegol y ffilm.Po uchaf yw'r dwysedd targed, y gorau yw swyddogaeth y ffilm.Yn ogystal, mae dwysedd a chryfder y targed yn cael eu gwella fel y gall y targed dderbyn y straen thermol yn well yn y broses sputtering.Mae dwysedd hefyd yn un o ddangosyddion swyddogaethol allweddol y targed.
Amser postio: Mai-20-2022